“柯总，您今天怎么有空亲自跑一趟？”
华芯国际的技术老大孟松笑着问柯蓝道。
尽管在生产线上，大家都穿着无尘服，看不清彼此的面容，只有两只眼睛露出来，还被眼罩罩着，但并不妨碍柯蓝感觉得到孟松是在笑着说话。
“看来有光刻胶材料替代验证，老孟也心情舒畅多了。”
柯蓝脑海里的念头一转，立即就抛开了，回答道：“国产材料测试这么大的事情，当然值得我过来看现场。”
孟松却道：“我看柯总是醉温之意不在酒，真正目的是来跟催你们那双芯片叠加的研发进度吧？”
柯蓝立即就问道：“那我们的双芯片叠加研发进度到哪了？”
孟松一怔，好家伙，还是这么直接，他咳嗽了两声后说道：“还是光刻胶材料商有点麻烦，我们目前所用的光刻胶以及配套工艺，还达不到贵司双叠加芯片的要求，电路在刻印上去后，在清洗的过程中容易出现电路坍塌现象。”
听着这话，柯蓝顿时陷入了沉思，嘴上下意识的说了句：“还是光刻机的问题吗？”
“有EUV光刻机当然好，问题应该不是很大。”
孟松摇了摇头，解释道：“现在我们最先进的光刻机用的是深紫外光源，Arf线光刻胶就能够满足制程需要，但现阶段我们用的Arf线光刻胶是湿法工艺，做单芯片问题不大，但做双叠加芯片就容易出现电路坍塌的问题，这一部分我们还在想办法攻克，或是寻找开发干式光刻工艺。”
柯蓝深吸了一口气，没有说话了。
而两人在这边说着话的时候，线体上已经有条不紊的开始了华科新材的新Arf线光刻胶的涂布工序，开始进入了光刻环节。
几人观看了一阵，见工序正常进行，除了必要的技术人员跟进执行以及华科新材的人全程跟进之外，大部分人就结束了看现场，走出了车间，在外面会议室一边工作一边等待结果。
一天很快就过去了。
晚上，加班加点等待的众人正祈祷着一切顺利之时，一个坏消息从车间传了出来。
“各位领导，电路图案清晰度不够！分辨率不够！”
华芯国际的技术人员介绍了情况，说了自己的判断结果，然后问道：“后面的测试还要继续进行吗？”
这时，从车间走出来的华科新材一行人紧随其后走进了会议室，个个脸上都明显的流露出失落、沮丧的神情。
作为专业人士的他们，知道了这个结果后，也知道了后面的测试都不用进行了。
果然，他们很快就听到华芯国际技术老大孟松果断的否定：“不用了，清晰度和分辨率都不够，生产出来的晶圆都是不达标的。”
“好的！”
见老大发话了，这名技术人员立即应了一声，然后就下去了。
会议室内，三方人员互相看了看
请收藏：https://m.sevds.com
（温馨提示：请关闭畅读或阅读模式，否则内容无法正常显示）